Environmental and health risks of chlorine trifluoride(ClF3), an alternative to potent greenhouse gases in the semiconductor industry
教授
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| 年份 | 2011 |
| 作者 | 蔡文田* |
| Author count | 1 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 第一作者 |
| 通訊作者 | 是 |
| 發表年份 | 2011 |
| 發表月份 | 6 |
| 期刊名稱 | Journal of Hazardous Materials |
| 出版地國別／地區 | 中華民國 |
| 發表卷數 | 190 |
| 發表期數 | 1-3 |
| 起始頁 | 1 |
| 結束頁 | 7 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 否 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | 無 |