以田口法改善單片行星式MOCVD爐體的鉮化鎵沉積均勻度
姜庭隆
姜庭隆
Categories: Symposium  /  
Year2004
Author
Created date2019-02-19
Author order4
Corresponding authorNo
Publication year2004
Symposium name第二十一屆中國機械工程研討會論文集
Seminar country中華民國
Start date2004-11-01
End date2004-11-01
Review systemNo
LanguageTraditional Chinese