PAHs Formation in the Depositions in a Methyl tert-Butyl Ether/Ar, a Methyl tert-Butyl Ether/O2/Ar and a Methyl tert-Butyl Ether/H2/Ar RF Plasma Environment

PAHs Formation in the Depositions in a Methyl tert-Butyl Ether/Ar, a Methyl tert-Butyl Ether/O2/Ar and a Methyl tert-Butyl Ether/H2/Ar RF Plasma Environment

教授    辦公室: CE422(分機7512) 實驗室: EP207(分機7075)    lthsieh@mail.npust.edu.tw
年份2002
作者謝連德*, 方國權, 楊錫賢, 王雅玢, 曹夢君, 廖渭銅
Author count6
Created date2019-02-19
作者順序第一作者
通訊作者
發表年份2002
發表月份12
期刊名稱Plasma Chemistry and Plasma Processing (SCI)
出版地國別/地區中華民國
發表卷數22
發表期數4
起始頁639
結束頁658
發表型式
審稿制度
出版語言外文
所屬計畫案