Numerical Method to Predict and Fabricate Aspherical Micro-lens Array Using 248nm Excimer Laser Ablation

Numerical Method to Predict and Fabricate Aspherical Micro-lens Array Using 248nm Excimer Laser Ablation

副教授    08-7703202#7454、(L)7480    c123@mail.npust.edu.tw
年份2004
作者潘正堂*, 沈聖智, 謝其昌, 錢志回, 陳永昌
Author count5
Created date2019-02-19
作者順序第四(以上)作者
通訊作者
發表年份2004
發表月份10
期刊名稱Journal of Microlithography, Microfabrication and Microsystems
出版地國別/地區中華民國
發表卷數Vol. 3
發表期數No. 4
起始頁555
結束頁562
發表型式
審稿制度
出版語言外文
所屬計畫案