Numerical Method to Predict and Fabricate Aspherical Micro-lens Array Using 248nm Excimer Laser Ablation
Numerical Method to Predict and Fabricate Aspherical Micro-lens Array Using 248nm Excimer Laser Ablation
| 年份 | 2004 |
| 作者 | 潘正堂*, 沈聖智, 謝其昌, 錢志回, 陳永昌 |
| Author count | 5 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 第四(以上)作者 |
| 通訊作者 | 否 |
| 發表年份 | 2004 |
| 發表月份 | 10 |
| 期刊名稱 | Journal of Microlithography, Microfabrication and Microsystems |
| 出版地國別/地區 | 中華民國 |
| 發表卷數 | Vol. 3 |
| 發表期數 | No. 4 |
| 起始頁 | 555 |
| 結束頁 | 562 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 否 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | 無 |