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Micromachined Silicon Cantilever Paddles for High-Flow-Rate Sensing

Micromachined Silicon Cantilever Paddles for High-Flow-Rate Sensing

傅龍明

工學院材料工程系生物機電工程系材料工程系先進材料學士學位學程

教授 7553 loudyfu@mail.npust.edu.tw

年份	2006
作者	馬榮華, 李佳言*, Yu-Hsiang Wang, 傅龍明
Author count	4
Created date	2019-02-19
作者順序	第四(以上)作者
通訊作者	否
發表年份	2006
發表月份	12
期刊名稱	Sensors and Materials
出版地國別／地區	中華民國
發表卷數	6
發表期數	18
起始頁	405
結束頁	417
發表型式
審稿制度	否
出版語言	外文
所屬計畫案	無