MEMS-based humidity sensor with integrated temperature compensation mechanism

MEMS-based humidity sensor with integrated temperature compensation mechanism

教授    08-7703202#7561、(L)7565    leecy@mail.npust.edu.tw
年份2008
作者李佳言*, 陳榮泰, 鄭木海
Author count3
Created date2019-02-19
作者順序第一作者
通訊作者
發表年份2008
發表月份9
期刊名稱Sensors and Actuators: A. Physical
出版地國別/地區中華民國
發表卷數147
起始頁522
結束頁528
發表型式
審稿制度
出版語言外文
所屬計畫案