Improving the Microstructure and Electrical Properties of Aluminum Induced Polysilicon Thin Films Using Silicon Nitride Capping Layer
教授
7555
ryyang@mail.npust.edu.tw
| 年份 | 2016 |
| 作者 | Ming-Hang Weng, Cheng-Tang Pan, Chien-Wei Huang, 楊茹媛* |
| Author count | 4 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 第四(以上)作者 |
| 通訊作者 | 是 |
| 發表年份 | 2016 |
| 發表月份 | 1 |
| 期刊名稱 | Journal of Nanomaterials |
| 出版地國別／地區 | 中華民國 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 否 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | 無 |