Fabrication and characterization of MEMS-based flow sensors based on hot films

Fabrication and characterization of MEMS-based flow sensors based on hot films

教授    08-7703202#7561、(L)7565    leecy@mail.npust.edu.tw
年份2011
作者馬榮華, 王禹翔, 江昇霖, 李佳言*
Author count4
Created date2019-02-19
作者順序第四(以上)作者
通訊作者
發表年份2011
發表月份4
期刊名稱Journal of Microsystem Technologies
出版單位Springer
出版地國別/地區中華民國
發表卷數17
起始頁655
結束頁660
發表型式
審稿制度
出版語言外文
所屬計畫案