Fabrication and Characterization of MEMS-based Flow Sensors Based on Hot Films
Fabrication and Characterization of MEMS-based Flow Sensors Based on Hot Films
教授
08-7703202#7561、(L)7565
leecy@mail.npust.edu.tw
| 年份 | 2010 |
| 作者 | 馬榮華, 王禹翔, 江昇霖, 李佳言* |
| Author count | 4 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 第四(以上)作者 |
| 通訊作者 | 是 |
| 發表年份 | 2010 |
| 發表月份 | 11 |
| 期刊名稱 | Journal of Microsystem Technologies |
| 出版地國別/地區 | 中華民國 |
| 發表卷數 | 16 |
| 起始頁 | 1056 |
| 結束頁 | 1061 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 否 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | 無 |