Effect of Substrate-Thickness on Voltage Responsivity of MEMS-Based ZnO Pyroelectric Infrared Sensors
教授
08-7703202#7561、(L)7565
leecy@mail.npust.edu.tw
| 年份 | 2021 |
| 作者 | 李佳言, Cheng-Xue Yu, Kuan-Yu Lin, Lung-Ming Fu* |
| Author count | 4 |
| Created date | 2022-03-04 |
| 作者順序 | 第一作者 |
| 通訊作者 | 否 |
| 發表年份 | 2021 |
| 發表月份 | 9 |
| 期刊名稱 | Applied Sciences |
| 出版單位 | MDPI |
| 出版地國別／地區 | 瑞士聯邦 |
| 發表卷數 | 11 |
| 發表期數 | 0 |
| 起始頁 | 9074 |
| 結束頁 | 9085 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 是 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | MOST 110-2622-E-020-001 |