Design and Packaging of MEMS-Based Flow-Rate and Flow-Direction Microsensor

Design and Packaging of MEMS-Based Flow-Rate and Flow-Direction Microsensor

教授    7553    loudyfu@mail.npust.edu.tw
年份2009
作者李佳言, CY Wen, HH Hou, RJ Yang, 蔡建雄, 傅龍明*
Author count6
Created date2019-02-19
作者順序第四(以上)作者
通訊作者
發表年份2009
發表月份3
期刊名稱Microfluidics and Nanofluidics
出版單位Springer
出版地國別/地區中華民國
發表期數6
起始頁363
結束頁371
發表型式
審稿制度
出版語言外文
所屬計畫案