Decomposition of Boron Trifluoride in the RF plasma environment
| 年份 | 2003 |
| 作者 | 王雅玢*, 蔡政賢, 謝連德, 施明良, 張文忠 |
| Author count | 5 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 第三作者 |
| 通訊作者 | 否 |
| 發表年份 | 2003 |
| 發表月份 | 6 |
| 期刊名稱 | Aerosol and Air Quality Research |
| 出版地國別／地區 | 中華民國 |
| 發表卷數 | 3 |
| 起始頁 | 53 |
| 結束頁 | 59 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 否 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | 無 |