 陳冠中 |
| 年 | 2020 |
| 作者 | |
| 建檔日期 | 2021-05-12 |
| 作者順序 | 第四(以上)作者 |
| 通訊作者 | 否 |
| 發表年份 | 2020 |
| 發表月份 | 2 |
| 期刊名稱 | Materials Science in Semiconductor Processing |
| 出版單位 | ELSEVIER SCI LTD |
| 出版地國別／地區 | 英國 |
| 發表卷數 | 106 |
| 發表期數 | 104766 |
| 審稿制度 | 是 |
| 出版語言 | 外文 |
陳冠中 |
| 年 | 2020 |
| 作者 | |
| 建檔日期 | 2021-05-12 |
| 作者順序 | 第四(以上)作者 |
| 通訊作者 | 否 |
| 發表年份 | 2020 |
| 發表月份 | 2 |
| 期刊名稱 | Materials Science in Semiconductor Processing |
| 出版單位 | ELSEVIER SCI LTD |
| 出版地國別／地區 | 英國 |
| 發表卷數 | 106 |
| 發表期數 | 104766 |
| 審稿制度 | 是 |
| 出版語言 | 外文 |
