Characterization of aluminum-doped zinc oxide (AZO) thin films by rf magnetron sputtering at different substrate temperature and sputtering power
教授
7555
ryyang@mail.npust.edu.tw
| 年份 | 2013 |
| 作者 | Hung-Wei Wu, 楊茹媛*, Chin-Min Hsiung, Chien-Hsun Chu |
| Author count | 4 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 第二作者 |
| 通訊作者 | 是 |
| 發表年份 | 2013 |
| 發表月份 | 1 |
| 期刊名稱 | Journal of Materials Science: Materials in Electronics |
| 出版地國別／地區 | 中華民國 |
| 發表卷數 | 24 |
| 起始頁 | 166 |
| 結束頁 | 171 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 否 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | 無 |