An Experimental Design for Processing Parameter Optimization for Cathode Arc Plasma Deposition of ZnO Films
楊茹媛
楊茹媛
分類: 期刊  /   SCI(Sciences Citation Index)  /  
2016
作者
建檔日期2019-01-16
作者順序第三作者
通訊作者
發表年份2016
發表月份6
期刊名稱IEEE Transactions on Automation Science and Engineering
出版地國別/地區美國
發表卷數13
發表期數4
審稿制度
出版語言外文
所屬計畫案NSC 101-2628-E-020-002-MY3