An Experimental Design for Processing Parameter Optimization for Cathode Arc Plasma Deposition of ZnO Films
教授
7555
ryyang@mail.npust.edu.tw
| 年份 | 2016 |
| 作者 | |
| Created date | 2019-01-16 |
| 作者順序 | 第三作者 |
| 通訊作者 | 否 |
| 發表年份 | 2016 |
| 發表月份 | 6 |
| 期刊名稱 | IEEE Transactions on Automation Science and Engineering |
| 出版地國別／地區 | 美國 |
| 發表卷數 | 13 |
| 發表期數 | 4 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 是 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | NSC 101-2628-E-020-002-MY3 |