研究高功率脈衝直流磁控濺鍍製備TaN薄膜 李英杰 分類: 研討會 / 年2019作者李英杰作者人數1建檔日期2020-03-18作者順序2通訊作者true發表年份2019會議名稱2019年第十五屆海峽兩岸薄膜科學與技術研討會舉行之城市台北舉行之國家中華民國開始日期2019-08-25結束日期2019-08-30審稿制度是發表語言中文所屬計畫案102-2221-E-020-008-MY3
