溶膠法製備奈米級二氧化鋯薄膜應用SiC MOSCAP之研究

溶膠法製備奈米級二氧化鋯薄膜應用SiC MOSCAP之研究

助理教授    08-7703202#7556    yychen@mail.npust.edu.tw
年份2026
作者
Created date2026-05-23
作者順序2
通訊作者true
發表年份2026
會議名稱第二十四屆微電子技術發展與應用研討會
舉行之城市高雄市
舉行之國家中華民國
開始日期2026-05-11
結束日期2026-05-11
審稿制度
發表語言中文
所屬計畫案NSTC 114-2221-E-020-014