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射頻磁控濺鍍摻雜銅對鈦酸鋅薄膜中相變化及微結構的影響

射頻磁控濺鍍摻雜銅對鈦酸鋅薄膜中相變化及微結構的影響

張莉毓

工學院機械工程系

教授 7525 7527 7011 n5888107@mail.npust.edu.tw

年份	2012
作者	盧威華, 張莉毓, 陳昱宏, 黃勇霖, 李英杰*
Author count	5
Created date	2019-02-19
作者順序	第二作者
通訊作者	否
發表年份	2012
發表月份	10
期刊名稱	北京科技大學學報
出版地國別／地區	中華民國
發表卷數	34
發表期數	10
起始頁	1173
結束頁	1177
發表型式
審稿制度	否
出版語言	中文
所屬計畫案	無