以氮化鋁作為MIS電容介電層之研製與特性分析

以氮化鋁作為MIS電容介電層之研製與特性分析

教授    7555    ryyang@mail.npust.edu.tw
年份2005
作者楊茹媛*, 葉祐名, 翁敏航, 薛漢鼎, 蘇炎坤
Author count5
Created date2019-02-19
作者順序第一作者
通訊作者
發表年份2005
發表月份1
期刊名稱奈米通訊
出版地國別/地區中華民國
發表型式
審稿制度
出版語言中文
所屬計畫案