以低溫常壓電漿對銅基材料精微拋光可行性之研究

以低溫常壓電漿對銅基材料精微拋光可行性之研究

副教授    #7006   
年份2020
作者陳晧隆*
Author count1
Created date2022-02-23
作者順序第一作者
通訊作者
發表年份2020
發表月份12
期刊名稱精密機械與製造科技期刊
出版地國別/地區中華民國
發表卷數10
發表期數2
起始頁22
結束頁30
發表型式
審稿制度
出版語言中文
所屬計畫案- MOST 107-2622-E-020-012 -CC3