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以低溫常壓電漿對銅基材料精微拋光可行性之研究
以低溫常壓電漿對銅基材料精微拋光可行性之研究
陳晧隆
工學院
機械工程系
副教授
#7006
年份
2020
作者
陳晧隆
*
Author count
1
Created date
2022-02-23
作者順序
第一作者
通訊作者
是
發表年份
2020
發表月份
12
期刊名稱
精密機械與製造科技期刊
出版地國別/地區
中華民國
發表卷數
10
發表期數
2
起始頁
22
結束頁
30
發表型式
審稿制度
是
出版語言
中文
所屬計畫案
- MOST 107-2622-E-020-012 -CC3