類鑽碳薄膜製程流場模擬分析

類鑽碳薄膜製程流場模擬分析

教授    08-7703202#7468、(L)7605    jcleong@mail.npust.edu.tw
年份2008
作者戴昌賢, 厲復霖, 梁茲程, 馮維中, 李英松*
Author count5
Created date2019-02-19
作者順序3
通訊作者false
發表年份2008
會議名稱2008第六屆全國精密製造研討會論文集
舉行之城市台南
舉行之國家中華民國
開始日期2008-11-08
結束日期2008-11-08
審稿制度
發表語言中文