PAHs Formation in the Depositions in a Methyl tert-Butyl Ether/Ar, a Methyl tert-Butyl Ether/O2/Ar and a Methyl tert-Butyl Ether/H2/Ar RF Plasma Environment
PAHs Formation in the Depositions in a Methyl tert-Butyl Ether/Ar, a Methyl tert-Butyl Ether/O2/Ar and a Methyl tert-Butyl Ether/H2/Ar RF Plasma Environment
| 年份 | 2002 |
| 作者 | 謝連德*, 方國權, 楊錫賢, 王雅玢, 曹夢君, 廖渭銅 |
| Author count | 6 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 第一作者 |
| 通訊作者 | 是 |
| 發表年份 | 2002 |
| 發表月份 | 12 |
| 期刊名稱 | Plasma Chemistry and Plasma Processing (SCI) |
| 出版地國別/地區 | 中華民國 |
| 發表卷數 | 22 |
| 發表期數 | 4 |
| 起始頁 | 639 |
| 結束頁 | 658 |
| 發表型式 | |
| 審稿制度 | 否 |
| 出版語言 | 外文 |
| 所屬計畫案 | 無 |