MOCVD磊晶沈積均勻度的三維熱流數值研究(Study on the MOCVD Epitaxy Deposition Uniformity by a Three-Dimensional Flow Model)

MOCVD磊晶沈積均勻度的三維熱流數值研究(Study on the MOCVD Epitaxy Deposition Uniformity by a Three-Dimensional Flow Model)

姜庭隆

工學院機械工程系

副教授 7005 tchiang@mail.npust.edu.tw

年份	2002
作者
Created date	2019-02-19
作者順序	4
通訊作者	false
發表年份	2002
會議名稱	B037中華民國力學學會第二十六屆全國力學會議
舉行之國家	中華民國
開始日期	2002-12-01
結束日期	2002-12-01
審稿制度	否
發表語言	中文