Gas Sensing Properties of ZnO:Al Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

Gas Sensing Properties of ZnO:Al Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering

教授    7525 7527 7011    n5888107@mail.npust.edu.tw
年份2006
作者張莉毓*, 陳鴻銘, 蘇彥勳, 賴韋豪, 周仕旻, 洪敏雄
Author count6
Created date2019-02-19
作者順序1
通訊作者false
發表年份2006
會議名稱2006 IEEE International Conference on Semiconductor Electronics
舉行之國家中華民國
開始日期2006-11-29
結束日期2006-11-29
審稿制度
發表語言外文