| 年份 | 2011 |
| 作者 | Ting-Chou Chang, Chien-Hsing Chen, Wei-Hung Shih, Jian-Neng Wan, Chia-Yu Lee, Jaw-Luen Tang, Shau-Chun Wang, Lai-Kwan Chau, 吳瑋特* |
| Author count | 9 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 4 |
| 通訊作者 | false |
| 發表年份 | 2011 |
| 會議名稱 | Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS |
| 舉行之城市 | Aix-en-Provence |
| 舉行之國家 | 中華民國 |
| 開始日期 | 2011-05-13 |
| 結束日期 | 2011-05-13 |
| 審稿制度 | 否 |
| 發表語言 | 外文 |