Effects of laser treatment power and wavelength on crystal quality of AlN films for acoustic wave filter applications
教授
6020、7568
hklin@mail.npust.edu.tw
| 年份 | 2017 |
| 作者 | |
| Created date | 2019-01-16 |
| 作者順序 | 1 |
| 通訊作者 | true |
| 發表年份 | 2017 |
| 會議名稱 | The 18th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM) |
| 舉行之城市 | 富山市 |
| 舉行之國家 | 日本 |
| 開始日期 | 2017-06-05 |
| 結束日期 | 2017-06-08 |
| 審稿制度 | 是 |
| 發表語言 | 外文 |