60MHz PECVD 沉積之微晶矽薄膜之光電特性 楊茹媛 分類: 研討會 / 年2013作者洪政源, 楊茹媛*, 孫嘉鴻, 翁敏航, 吳春森作者人數5建檔日期2019-02-19作者順序2通訊作者false發表年份2013會議名稱中國材料科學學會年會舉行之城市桃園舉行之國家中華民國開始日期2013-10-01結束日期2013-10-01審稿制度否發表語言中文
