量產型MOCVD爐內砷化鎵沉積均勻度的數值研究

教授 08-7703202#7459、(L)7604 chtsai@mail.npust.edu.tw

年份	2003
作者	蔡建雄*
Author count	1
Created date	2019-02-19
作者順序	1
通訊作者	false
發表年份	2003
會議名稱	第二十屆機械工程研討會20th National Conference on Mechanical Engineering
舉行之國家	中華民國
開始日期	2003-12-01
結束日期	2003-12-01
審稿制度	否
發表語言	中文