量產型MOCVD爐內砷化鎵沉積均勻度的數值研究 蔡建雄 分類: 研討會 / 年2003作者蔡建雄作者人數1建檔日期2019-02-19作者順序1通訊作者false發表年份2003會議名稱第二十屆機械工程研討會20th National Conference on Mechanical Engineering舉行之國家中華民國開始日期2003-12-01結束日期2003-12-01審稿制度否發表語言中文
