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研討會
磁力輔助低溫常壓電漿對銅箔基板表面精微拋光改善之研究
磁力輔助低溫常壓電漿對銅箔基板表面精微拋光改善之研究
陳晧隆
工學院
機械工程系
副教授
#7006
年份
2021
作者
陳晧隆
*
Author count
1
Created date
2021-09-15
作者順序
1
通訊作者
true
發表年份
2021
會議名稱
第19屆精密機械與製造科技研討會論文集
舉行之城市
屏東墾丁
舉行之國家
中華民國
開始日期
2021-05-21
結束日期
2021-05-23
審稿制度
是
發表語言
中文
所屬計畫案
MOST 107-2622-E-020-012 -CC3