磁力輔助低溫常壓電漿對銅箔基板表面精微拋光改善之研究

磁力輔助低溫常壓電漿對銅箔基板表面精微拋光改善之研究

副教授    7022    yhchen@mail.npust.edu.tw
年份2021
作者陳永祥*
Author count1
Created date2022-03-16
作者順序3
通訊作者true
發表年份2021
會議名稱2021第19屆精密機械與製造科技研討會(PMMT 2021)
會議起始頁碼1
會議結束頁碼7
舉行之城市屏東
舉行之國家中華民國
開始日期2021-06-11
結束日期2021-06-11
審稿制度
發表語言中文