研究高功率脈衝直流磁控濺鍍製備TaN薄膜
教授
7556
YCLee@mail.npust.edu.tw
| 年份 | 2019 |
| 作者 | 李英杰* |
| Author count | 1 |
| Created date | 2020-03-18 |
| 作者順序 | 2 |
| 通訊作者 | true |
| 發表年份 | 2019 |
| 會議名稱 | 2019年第十五屆海峽兩岸薄膜科學與技術研討會 |
| 舉行之城市 | 台北 |
| 舉行之國家 | 中華民國 |
| 開始日期 | 2019-08-25 |
| 結束日期 | 2019-08-30 |
| 審稿制度 | 是 |
| 發表語言 | 中文 |
| 所屬計畫案 | 102-2221-E-020-008-MY3 |