直流磁控濺鍍系統沉積鎳鉻矽薄膜之研究

直流磁控濺鍍系統沉積鎳鉻矽薄膜之研究

教授    7556    YCLee@mail.npust.edu.tw
年份2010
作者李東曄, 李英杰*, 林明宏
Author count3
Created date2019-02-19
作者順序2
通訊作者false
發表年份2010
會議名稱2010年能源與光電薄膜科技研討會, 台灣鍍膜科技協會年會(AMTACT 2010)
舉行之城市彰化
舉行之國家中華民國
開始日期2010-12-10
結束日期2010-12-10
審稿制度
發表語言中文