沈積厚度對直流反應濺鍍法製備氮化鋁薄膜之C軸取向與電性分析 熊京民 分類: 研討會 / 年2009作者熊京民, 陳威宇, 楊茹媛*, 廖敦帆, 翁敏航, 張守進作者人數6建檔日期2019-02-19作者順序1通訊作者false發表年份2009會議名稱中國材料科學學會2009年會會議起始頁碼181會議結束頁碼181舉行之城市台東舉行之國家中華民國開始日期2009-11-26結束日期2009-11-26審稿制度否發表語言中文
