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研討會
沈積厚度對直流反應濺鍍法製備氮化鋁薄膜之C軸取向與電性分析
沈積厚度對直流反應濺鍍法製備氮化鋁薄膜之C軸取向與電性分析
熊京民
工學院
機械工程系
教授
hsiung@mail.npust.edu.tw
年份
2009
作者
熊京民
, 陳威宇,
楊茹媛
*, 廖敦帆, 翁敏航, 張守進
Author count
6
Created date
2019-02-19
作者順序
1
通訊作者
false
發表年份
2009
會議名稱
中國材料科學學會2009年會
會議起始頁碼
181
會議結束頁碼
181
舉行之城市
台東
舉行之國家
中華民國
開始日期
2009-11-26
結束日期
2009-11-26
審稿制度
否
發表語言
中文