多片行星式MOCVD爐內砷化鎵沈積均勻度的研究 蔡宗典 分類: 研討會 / 年2003作者建檔日期2019-02-19作者順序4通訊作者false發表年份2003會議名稱中國機械工程師學會第二十屆機械工程研討會論文集舉行之國家中華民國開始日期2003-12-01結束日期2003-12-01審稿制度否發表語言中文
