多片行星式MOCVD爐內砷化鎵沈積均勻度的研究Deposited Uniformity of GaAs in a Multi-Wafer Planetary Type MOCVD Reactor

多片行星式MOCVD爐內砷化鎵沈積均勻度的研究Deposited Uniformity of GaAs in a Multi-Wafer Planetary Type MOCVD Reactor

姜庭隆

工學院機械工程系

副教授 7005 tchiang@mail.npust.edu.tw

年份	2003
作者
Created date	2019-02-19
作者順序	4
通訊作者	false
發表年份	2003
會議名稱	中國機械工程師學會
舉行之國家	中華民國
開始日期	2003-12-01
結束日期	2003-12-01
審稿制度	否
發表語言	中文