在氬氣裡以不同溫度退火對氮化鋁薄膜MSM光檢測器之光電性能之影響

在氬氣裡以不同溫度退火對氮化鋁薄膜MSM光檢測器之光電性能之影響

熊京民

工學院機械工程系

教授 hsiung@mail.npust.edu.tw

年份	2009
作者	熊京民, 楊茹媛*, 鄧光富
Author count	3
Created date	2019-02-19
作者順序	1
通訊作者	false
發表年份	2009
會議名稱	2009海峽兩岸現代工程科技應用研討會
舉行之城市	台南
舉行之國家	中華民國
開始日期	2009-05-06
結束日期	2009-05-06
審稿制度	否
發表語言	中文