單片行星式MOCVD爐體尺寸與晶圓轉速對砷化鎵沈積均勻度的研究

單片行星式MOCVD爐體尺寸與晶圓轉速對砷化鎵沈積均勻度的研究

副教授    7005    tchiang@mail.npust.edu.tw
年份2003
作者
Created date2019-02-19
作者順序4
通訊作者false
發表年份2003
會議名稱全國力學會議
舉行之國家中華民國
開始日期2003-12-01
結束日期2003-12-01
審稿制度
發表語言中文