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研討會
單片行星式MOCVD爐體尺寸與晶圓轉速對砷化鎵沈積均勻度的研究
單片行星式MOCVD爐體尺寸與晶圓轉速對砷化鎵沈積均勻度的研究
姜庭隆
工學院
機械工程系
副教授
7005
tchiang@mail.npust.edu.tw
年份
2003
作者
Created date
2019-02-19
作者順序
4
通訊作者
false
發表年份
2003
會議名稱
全國力學會議
舉行之國家
中華民國
開始日期
2003-12-01
結束日期
2003-12-01
審稿制度
否
發表語言
中文