以臨界電流法檢測直流濺鍍AlN薄膜孔隙度

以臨界電流法檢測直流濺鍍AlN薄膜孔隙度

教授       hsiung@mail.npust.edu.tw
年份2009
作者熊京民, 姜庭隆*, 侯翔詠
Author count3
Created date2019-02-19
作者順序1
通訊作者false
發表年份2009
會議名稱2009 精密機械與製造科技研討會
舉行之城市屏東
舉行之國家中華民國
開始日期2009-05-23
結束日期2009-05-23
審稿制度
發表語言中文