以田口法改善MOCVD砷化鎵的沉積均勻度

以田口法改善MOCVD砷化鎵的沉積均勻度

教授       hsiung@mail.npust.edu.tw
年份2009
作者姜庭隆, 熊京民*, 蔡健雄, 傅龍明, 朱紹舒
Author count5
Created date2019-02-19
作者順序2
通訊作者false
發表年份2009
會議名稱2009 精密機械與製造科技研討會
舉行之城市屏東
舉行之國家中華民國
開始日期2009-05-23
結束日期2009-05-23
審稿制度
發表語言中文