以田口法改善單片行星式MOCVD爐體的鉮化鎵沉積均勻度

以田口法改善單片行星式MOCVD爐體的鉮化鎵沉積均勻度

副教授    7005    tchiang@mail.npust.edu.tw
年份2004
作者
Created date2019-02-19
作者順序4
通訊作者false
發表年份2004
會議名稱第二十一屆中國機械工程研討會論文集
舉行之國家中華民國
開始日期2004-11-01
結束日期2004-11-01
審稿制度
發表語言中文