以動態極化掃描法檢測直流濺鍍AlN薄膜孔隙度 熊京民 分類: 研討會 / 年2009作者熊京民, 姜庭隆*, 侯翔詠作者人數3建檔日期2019-02-19作者順序1通訊作者false發表年份2009會議名稱2009精密機械與製造科技研討會舉行之城市屏東舉行之國家中華民國開始日期2009-05-23結束日期2009-05-23審稿制度否發表語言中文