以動態極化掃描法檢測直流濺鍍AIN薄膜孔隙度

以動態極化掃描法檢測直流濺鍍AIN薄膜孔隙度

副教授    7005    tchiang@mail.npust.edu.tw
年份2009
作者熊京民*, 姜庭隆, 侯翔詠
Author count3
Created date2019-02-19
作者順序2
通訊作者false
發表年份2009
會議名稱精密機械與製造科技研討會
舉行之國家中華民國
開始日期2009-05-23
結束日期2009-05-23
審稿制度
發表語言中文