磁力輔助低溫常壓電漿對銅箔基板表面精微拋光改善之研究

磁力輔助低溫常壓電漿對銅箔基板表面精微拋光改善之研究

副教授    #7006   
年份2021
作者陳晧隆*
Author count1
Created date2021-09-15
作者順序1
通訊作者true
發表年份2021
會議名稱第19屆精密機械與製造科技研討會論文集
舉行之城市屏東墾丁
舉行之國家中華民國
開始日期2021-05-21
結束日期2021-05-23
審稿制度
發表語言中文
所屬計畫案MOST 107-2622-E-020-012 -CC3