| 年份 | 2011 |
| 作者 | 陳志堅*, Chun-Huei Chen, Shian-Ruei Shie |
| Author count | 3 |
| Created date | 2019-02-19 |
| 作者順序 | 1 |
| 通訊作者 | false |
| 發表年份 | 2011 |
| 會議名稱 | Proceedings of the Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMSProceedings of the Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS |
| 會議起始頁碼 | 170 |
| 會議結束頁碼 | 175 |
| 舉行之城市 | Aix-en-Provence |
| 舉行之國家 | 中華民國 |
| 開始日期 | 2011-05-11 |
| 結束日期 | 2011-05-11 |
| 審稿制度 | 否 |
| 發表語言 | 中文 |