多片行星式MOCVD爐內砷化鎵沈積均勻度的研究

多片行星式MOCVD爐內砷化鎵沈積均勻度的研究

副教授       chungti@mail.npust.edu.tw
年份2003
作者
Created date2019-02-19
作者順序4
通訊作者false
發表年份2003
會議名稱中國機械工程師學會第二十屆機械工程研討會論文集
舉行之國家中華民國
開始日期2003-12-01
結束日期2003-12-01
審稿制度
發表語言中文