以田口法改善MOCVD砷化鎵的沉積均勻度

以田口法改善MOCVD砷化鎵的沉積均勻度

副教授    7005    tchiang@mail.npust.edu.tw
年份2009
作者姜庭隆*, 熊京民, 蔡建雄, 傅龍明, 朱紹舒
Author count5
Created date2019-02-19
作者順序1
通訊作者false
發表年份2009
會議名稱精密機械與製造科技研討會
舉行之國家中華民國
開始日期2009-05-23
結束日期2009-05-23
審稿制度
發表語言中文